|
中華人民共和國國家標準
潔淨廠房設計規範
(部分章節） GBJ73-84
|
|
弟一章 總則
弟1．0．1 條潔淨廠房設計必須貫徹執行國家的有關方針政策，做到技術先進、經濟合理、可靠適用、確保質量，符合節約能源和環境保護的要求。
弟1．0．2 條本規範適用於新建和改建、擴建的潔淨廠房設計，但不適用於以**為控製對象的生物潔淨室。本規範有關防火和疏散、消防設施章節的規定，不適用於建築高度超過24米的高層潔淨廠房和地下潔淨廠房的設計。
弟1．0．3 條在利用原有建築進行潔淨技術改造時，潔淨廠房設計必須根據生產工藝要求，因地製宜、區別對待，充分利用已有的技術設施。
弟1．0．4條潔淨廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和可靠運行創造必要的條件。
弟1．0．5條潔淨廠房設計除應按本規範執行外，尚應符合現行的國家標準、規範的有關要求。
弟二章 空氣潔淨度等級
弟2．0．1條 空氣潔淨度應按表2.0.1規定劃分為四個等級。
空氣潔淨度等級 表2.0.1
|
等 級
|
每立方米(每升)空氣中
≥0.5微米塵粒數
|
每立方米(每升)空氣中
≥5微米塵粒數
|
|
100級
|
≤35×100(3.5)
|
|
|
1000級
|
≤35×1000(35)
|
≤250(0.25)
|
|
10000級
|
≤35×10000(350)
|
≤2500(2.5)
|
|
100000級
|
≤35×100000(3500)
|
≤25000(25)
|
注：對於空氣潔淨度為100級的潔淨室內大於等於5微米塵粒的計算應進行多次采樣。當其多次出現時，方可認為該測試數值是可靠的。
弟2．0．2條潔淨室空氣潔淨度等級的檢驗，應以動態條件下測試的塵粒數為依據。潔淨室空氣潔淨度的測試，應符合附錄二規定。
弟三章 總體設計
弟一節 潔淨廠房位置選擇和總平麵布置
弟3.1.1條潔淨廠房位置的選擇，應根據下列要求並經技術經濟方案比較後確定：
一、應在大氣含塵濃度較低，自然環境較好的區域；
二、應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場
等有嚴重空氣汙染、振動或噪聲幹擾的區域。如不能遠離嚴重空氣汙染源時，則應位於其濟大頻率
風向上風側，或全年濟小頻率風向下風側；
三、應布置在廠區內環境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地段。
弟3．1．2條對於兼有微振控製要求的潔淨廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影響，並應與精密設備、精密儀器儀表允許環境振動值進行分析比較。
弟3．1．3條潔淨廠房濟大頻率風向上風側有煙囪時，潔淨廠房與煙囪之間的水平距離不宜小於煙囪高度的12倍。 弟3.1.4條 潔潔廠房與交通幹道之間的距離不宜小於50米。
弟3．1．5條 潔淨廠房周圍宜設置環形消防車道(可利用交通道路)，如有困難時，可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。
弟3．1．6條潔淨廠房周圍的道路麵層，應選用整體性好、發塵少的材料。
弟3．1．7條潔淨廠房周圍應進行綠化。可鋪植草坪、種植對大氣含塵農度不產生有害影響的樹木，並形成綠化小區。但不得妨礙消防操作。
弟二節 工藝布置和設計綜合協調
弟3．2．1條 工藝布置應符合下列要求：
一、工藝布置合理、緊湊。潔淨室或潔淨區內隻布置必要的工藝設備以及有空氣潔淨度等級要
求的工序和工作室。
二、在滿足生產工藝要求的前提下，空氣潔淨度高的潔淨室或潔淨區宜靠近空氣調節機房，空
氣潔淨度等級相同的工序和工作室宜集中布置，靠近潔淨區人口處宜布置空氣潔淨度等級較低的工
作室。
三、潔淨室內要求空氣潔淨度高的工序應布置在上風側，易產生汙染的工藝設備應布置在靠近
回風口位置。
四、應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，並預留設備安裝口和檢修口。
五、應設置單獨的物料人口，物料傳遞路線應濟短，物料進入潔淨區之前必須進行清潔處理。
弟3．2．2條潔淨廠房內宜少設隔間，但在下列情況下可予以分隔。
一、按生產的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區段之間，或有防火分隔要
求者。
二、生產過程中產生較強噪聲或散發較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采取局部措施加以
控製者。
三、生產聯係少，並經常不同時使用的兩個生產車間之間。
弟3．2．3條潔淨廠房的平麵和空間設計，宜將潔淨區、人員淨化、物料淨化和其他輔助用房進行分區布置。同時應考慮生產操作、工藝設備安裝和維修、氣流組織型式、管線布置以及淨化空氣調節係統等各種技術設施的綜合協調效果。
弟3．2．4條潔淨廠房設計必須合理確定各種管線的平麵位置和豎向標高。 弟3．2．5條 潔淨廠房內各種固定技術設施(如送風口、照明器、回風口、各種管線等)的布置，宜首先考慮淨化空氣調節係統的要求。
|
弟三節 噪聲控製
弟3．3．1條潔淨室內的噪聲級，應符合下列要求：
一、動態測試時，潔淨室內的噪聲級不應超過70分貝A。
二、空態測試時，亂流潔淨室的噪聲級不宜大於60分貝A；層流潔淨室的噪聲級不應大於65分
貝A。
注：（1）由於技術經濟條件限製，或噪聲大於70分貝A對生產無影響時，噪聲級可適當放寬，但不
宜大於75分貝A；
（2）上述噪聲級是指在室內每一個工作點人耳位置（人離開）的測量值。對於變動噪聲，則
取相同位置處在一個正常工作日內的等效連續聲壓級。
弟3．3．2條潔淨室的噪聲頻譜限製，應采用倍頻程聲太級；各頻帶聲壓級值不宜大於表3.3.2的規定。
弟3．3．3條潔淨廠房的平、剖麵布置，應考慮噪聲控製的要求，其圍護結構應有良好的隔聲性能，並宜使各部分隔聲量相接近。
弟3．3．4條潔淨室內的各種設備均應選用低噪聲產品。對於輻射噪聲超過潔淨室允許值的設備，應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。
弟3.3.5條淨化空氣調節係統噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、隔聲振等控製措施。 除事故排風外，應對潔淨室內的排風係統進行減噪設計。
弟3．3．6條淨化空氣調節係統，根據室內噪聲級的要求，風管內風速宜按下列規定選用：
一、總風管為6～10米/秒。
二、無送、回風口的支風管為6～8米/秒。
三、有送、回風口的大風管為3～6米/秒。
弟3．3．7條潔淨廠房的噪聲控製設計必須考慮生產環境的空氣潔淨度要求，不得因控製噪聲而影響潔淨室的淨化條件。
弟四節 振動控製
弟3.4.1條潔淨廠房和周圍輔助性站房內有強烈振動的設備(包括水泵等)及其通往潔淨室的管道，應采取積極隔振措施。
弟3．4．2條對潔淨廠房內外各類振源，應測定其對潔淨廠房的綜合振動影響。如受條件限製，也可根據經驗對綜合振動影響進行評價。並應與精密設備、精儀器儀表的允許環境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。
弟3．4．3條精密設備、精密儀器儀表的隔振措施，應考慮減少發生量、保持潔淨室內合理的氣流組織等要求。當采用空氣彈簧隔振台座時，應地氣源進行處理，使其達到潔淨室的空氣潔淨度等級。
弟四章 建築
弟一節 一般規定
弟4．1．1條 潔淨廠房的建築平麵和空間布局，應具有適當的靈活性。潔 淨區的主體結構不宜采用內牆承重。
弟4．1．2條 潔淨室的高度以淨高控製，淨高應以100毫基本模數。
弟4．1．3條 潔淨廠房主體結構的耐久性與室內裝備和裝修水平相協調， 並應具有防火、控製溫度變形和不均勻沉陷性能（地震區應符合抗震設計規定）。 廠房變形縫應避免穿過潔淨區。
弟4．1．4條 送、回風管和其他管線需暗敷時，應設置技術夾層、技術夾 道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。
弟4．1．5條 對兼有一般生產和潔淨生產的綜合性廠房，其方案設計和構 造的處理，應避免在人流與物流運輸以及防火方麵對潔淨生產帶來不利影響。
弟二節 人員淨化和物料淨化設施
弟4．2．1條 潔淨廠房內應設置人員淨化、物料淨化用室和設施，並應根 據需要設置生活用室和其他用室。
弟4．2．2條 人員淨化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣 室、盥洗室、潔淨工作服室和空氣吹淋室等。 廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和幹燥間等其他用室， 可根據需要設置。
弟4．2．3條 人員淨化用室和生活用室的設計，應符合下列要求：
一、人員淨化用室的入口處，應設淨鞋器。
二、存外衣室和潔淨工作服室應分別設置。外衣存衣櫃和潔淨工作服櫃應按 設計人數每人設
一櫃。
三、盥洗室應設洗手和烘幹設備。水龍頭應按濟大班人數每10人設一個。
四、潔淨區不得設廁所。人員淨化用室內的廁所應設前室。
五、空氣吸淋室應設在潔淨區人員入口處，並應與潔淨工作服室相鄰。單人 空氣吹淋室按濟
大班人數每30人設一台。當僅為100級垂直層流潔淨室時，可改 設氣閘室。
潔淨區工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設旁通門。
弟4．2．4條 人流路線應避免往複交叉。人員淨化用室和生活用室的布置， 一般按圖4．2．4的人員淨化程序進行布置。
弟4．2．5條 根據不同的空氣潔淨度等級和工作人員數量，潔淨廠房內人 員淨化用室和生活用室的建築麵積應合理確定。一般可按潔淨區設計人數平均每 人4～6平方米計算。
弟4．2．6條 潔淨工作服室內，對空氣淨化應有一定的要求。
弟4．2．7條 潔淨室的設備和物料出入口，應根據設備和物料的性質、形 狀等待征設置物料淨化用室及其設施。物料淨化用室的布置，應防止淨化後物料 在傳遞過程中被汙染。
弟三節 防火和疏散
弟4．3．1條 潔淨廠房的耐火等級不應低於二級。吊頂材料應為非燃燒體， 其耐火極限不宜小於0．25小時。
弟4．3．2條 潔淨廠房內一般的生產工作間的火災危險性，可按附錄三進 行分類。
弟4．3．3條 甲、乙類生產的潔淨廠房，宜采用單層廠房。其防火牆間濟 大允許占地麵積，單層廠房應為3，000平方米，多層廠房應為2，000平方米。
弟4．3．4條 甲、乙類生產或設置在甲、乙類生產環境中的裝配式潔淨室， 其頂棚和壁板（包括內部填充物）應為非燃燒體。
弟4．3．5條 在一個防火區內的綜合性廠房，其潔淨生產與一般生產區域 之間應設置非燃燒體隔牆封閉到頂。隔牆及其相應頂板的耐火極限不應低於1小 時，隔牆上的門窗耐火極限不應低於0．6小時。穿過隔牆或頂板的管線周圍空隙 應采用非燃燒材料緊密填塞。
弟4．3．6條 技術豎井井壁應為非燃燒體，其耐火極限不應低於1小時。井 壁上檢查門的耐火極限不應低於0．6小時；豎井內在各層或間隔一層樓板處，應 采用相當於樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線 周圍空隙，應采用非燃燒材料緊密填塞。
弟4．3．7條 潔淨廠房每一生產層、每一防火分區或每一潔淨區的可靠出 口的數量，均不應少於兩個。但符合下列要求者，可設置一個可靠出口：
一、甲、乙類生產廠房每層的總建築麵積不用過50平方米，且同一時間內的 生產人員總數不
用過5人；
二、丙、丁、戊類生產廠房，符合國家現行的《建築設計防火規範》的規定 者。
可靠出口應分散均勻布置，從生產地點至可靠出口不用經過曲折的人員淨化 路線。
弟4．3．8條 潔淨區與非潔淨區和潔淨區與室外相通的可靠疏散門應向疏 散方向開啟。可靠疏散門不得采用吊門、轉門、側拉門以及電控自動門。
弟4．3．9條 當潔淨廠房同層外牆上可供消防人員通往廠房潔淨區的門窗， 其洞口間距大於80米時，則應在該段外牆的適當部位設置專用消防口。 專用消防口的寬度不應小於750毫米，高度不應小於1800毫米，並應有明顯標誌。樓層的專用消防口應附設陽台，並從二層起向上設爬樓。
弟四節 室內裝修
弟4．4．1條 潔淨廠房的建築圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。牆麵內裝修當需附加構造骨架和保 溫層時。應采用非燃燒體或難燃燒體。
弟4．4．2條 潔淨室內牆壁和頂棚的表麵，應符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便於除塵等要求；應減少凹凸麵，陰陽角做成圓角。室內裝修宜采用 於操作；如為抹灰時，應采用**抹灰標
準。
弟4．4．3條 潔淨室的地麵，應符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、並有舒適感等要求。
弟4．4．4條 潔淨廠房技術夾層的牆麵、頂棚宜抹灰。如需在技術夾層內 更換高效空氣過濾器時，宜增刷塗料飾麵。 地麵、回風地溝和位於地下的技術夾層，應采用防水或防潮、防黴措施。 建築風道和回風地溝的內表麵裝修標準，應與整個送、回風係統相適應，並 應易於除塵。
弟4．4．5條 潔淨室和人員淨化用室設置的外窗，應采用雙層玻璃金屬窗，並應有良好的氣密性。
弟4．4．6條 潔淨室內的密閉門宜朝空氣潔淨度較高的房間開啟。無窗潔 淨室的密閉門上宜設觀察窗。
弟4．4．7條 潔淨室門窗、牆壁、頂棚、地（樓）麵的構造和施工縫隙， 均應采取可靠的密封措施。
弟4．4．8條 潔淨室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表麵材料的光反射係數， 頂棚和牆麵宜為0．6－0．8；地麵宜為0．15--0．35。
弟五節 裝配式潔淨室
弟4．5．1條 在新建或改建的潔淨廠房設計中，對於麵積不大、層高較低、 要求空氣潔淨度較高的生產環境可采用裝配式潔淨室。
弟4．5．2條 裝配式潔淨室所在的房間應有空氣淨化要求，並應與裝配式潔 淨室的空氣潔淨度等級相適應。外圍建築的耐火等級不得低於二級。
弟4．5．3條 裝配式潔淨室頂棚可由裝配式潔淨室本身內壁板或支柱支承， 也可固定在外圍建築上。回風地溝或回風地坑宜設在外圍建築的地麵以下。
弟4．5．4條 裝配式潔淨室設計應滿足在該室室內安裝壁板的要求。裝配 式潔淨室的構配件應做到：連接構造的整體性強、氣密性好，並便於組裝、拆卸、 包裝和運輸。
弟4．5．5條 裝配式潔淨室的四周壁板中，宜有一麵或兩麵緊貼或靠近外 圍建築的牆壁。緊貼時，壁板與牆壁之間的安裝縫隙應封閉；靠近時，應留有清 掃距離。當裝配式潔淨室時,壁板外側設有技術夾道時，壁板與外圍建築內牆麵 之間淨寬不宜小於600毫米。
弟五章 空氣淨化
弟一節 一般規定
弟5．1．1條潔淨廠房內各潔淨室的空氣潔淨度等級的確定，應符合下列要求：
一、潔淨室內有多種工序時，應根據各工序的不同要求，采用不同的空氣潔淨度等級。
二、在滿足人生產工藝要求的前提下，潔淨室的氣流組級別，宜采用局部工作區空氣淨化和全
室空氣淨化相結合的形式。
弟5.1.2條 層流潔淨室和亂流潔淨室以及運行班次和使用時間不同的潔淨室，其淨化空氣調節係統均宜分開設置。
弟5．1．3條潔淨室內的計算溫、溫度、應符合下列規定：
一、滿足生產工藝要求
二、生產工藝無溫、濕度要求時，潔淨室溫度為20～26度，溫度70度。
弟5．1．4條潔淨室內應保證一定的新鮮空氣量，其數值頻取下列風量中的濟大值；
一、亂流潔淨室總送風量的10%～30%，層流潔淨室總送風量的2～4%。
二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。
三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小於40立方米。
弟5．1．5條潔淨區的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵係統。潔淨室內集中式真空吸塵係統的管道，應暗敷。
弟5．1．6條在淨化空氣調節係統設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規定。
弟二節 潔淨室正壓控製
弟5．2．1條潔淨室必須維持一定的正壓。不同等級的潔淨室以及潔淨區與非潔淨區之間的靜壓差，應不小於4.9Pa，潔淨區與室外的靜壓差，應不小於9.8Pa。
弟5．2．2條潔淨室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算：
Q＝q1·Σ（q·L） （5.2.2）
式中：Q--維持潔淨室正壓值所需的正壓風量(米3/時)；
a--根據圍擴結構氣密性確定的可靠係數，可取1.1～1.2；
q--當潔淨室為某一正壓值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量(米3/時·米)；
L--圍擴結構的縫隙長度(米)。
弟5．2．3條圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量，可按表5.2.3采用。
| 壓差(Pa)
|
門 窗 形 式
|
| 非密閉門 |
密閉門
|
單層固定密閉木窗
|
單層固定密閉鋼窗
|
單層開啟式密閉鋼窗
|
傳遞窗
|
壁板
|
|
漏風量（米3/時·米）
|
| 4.9 |
17
|
4
|
1.0
|
0.7
|
3.5
|
2.0
|
0.3
|
|
9.8
|
24
|
6 |
1.5 |
1.0 |
4.5 |
3.0 |
0.6
|
|
14.7
|
30
|
8
|
2.0
|
1.3
|
6.0
|
4.0
|
0.8
|
|
19.6
|
36
|
9
|
2.5
|
1.5
|
7.0
|
5.0
|
1.0
|
|
24.5
|
40
|
10
|
2.8
|
1.7
|
8.0
|
5.5
|
1.2
|
|
29.4
|
44
|
11
|
3.0
|
1.9
|
8.5
|
6.0
|
1.4
|
|
34.3
|
48
|
12
|
3.5
|
2.1
|
9.0
|
7.0
|
1.5
|
|
39.2
|
52
|
13
|
3.8
|
2.3
|
10.0
|
7.5
|
1.7
|
|
44.1
|
55
|
15
|
4.0
|
2.5
|
10.5
|
8.0
|
1.9
|
|
49.0
|
60
|
16
|
4.4
|
2.6
|
11.5
|
9.0
|
2.0
|
弟5．2．4條送風、回風和排風係統的啟閉聯鎖。係統開啟時，聯軸和序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機，係統關閉時，則聞鎖程序應相反。
弟5．2．5條非連續運行的潔淨室，可根據生產工藝要求設置值班風機，並應對新風進行處理。
弟三節 氣流組組織和送風量
弟5．3．1 氣流組織的選擇，應符合下列要求：
一、潔淨工作區的氣流速度，應滿足空氣潔淨度和人體健康的要求，並應使潔淨工作區氣流流
向單一。
二、回風口宜均勻布置在潔淨室下部。
三、餘壓閥宜設在潔淨室氣流的下風側，不宜設在潔淨工作區高度範圍內。
弟5．3．2條潔淨室的氣流組織和送風量，宜按表5.3.2選用。
弟5．3．3條亂流潔淨室的送風量，應取下列規定的濟大值；
一、為控製室內空氣潔淨度所需要的送風量。
二、按表5.3.2規定的送風量。
三、根據熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量。
四、按空氣平衡所需要的送風量。
弟5.3.4條當生產工藝僅要求在潔淨室內局部工作區達到更高的空氣潔淨度時，其氣流組織設計應
使潔淨氣流首先流經該工作區，或在潔淨室的不同區域形成不同氣流流型和空氣潔淨度等級的潔淨工作區，其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。
弟5．3．5條層流潔淨室內不宜設置潔淨工作台；亂流潔淨室內可設置潔淨工作台，但其位置應遠離回風口。
弟5．3．6條潔淨室內有局部排風裝置時，其位置應設在工作區氣流的下風側。
弟四節 空氣淨化處理
弟5．4．1條各等級空氣潔淨度的空氣淨化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過
濾。
注1：100，000級空氣淨化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。
弟5．4．2條確定集中式或分散式淨化空氣調節係統時，應綜合考慮生產工藝特點和潔淨室空氣潔淨度等級、麵積、位置等因素。凡生產工藝連續、潔淨室麵積較大時，位置集中以及噪聲控製和振動控製要求嚴格的潔淨室，宜采用集中式淨化空氣調節係統。
弟5．4．3條淨化空氣調節係統設計應合理利用回風，凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。
弟5．4．4條淨化空氣調節係統除直流式係統和設置值班風機的係統外，應采取防止室外汙染空氣通過新風口參入潔淨室內的防倒灌措施。
弟5．4．5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合下列要求：
一、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器。
二、中效空氣過濾器宜集中設置在淨化空氣調節係統的正壓段。
三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在淨化空氣調節係統末端。
四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用。
五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一潔淨室內。
六、高效空氣過濾器安裝方式應簡便可靠，易於檢漏和更換。
弟5．4．6條送風機可按淨化空氣調節係統的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。
弟5．4．7條淨化空氣調節係統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，並應有防火可靠措施。
弟五節 采暖通風
弟5．5．1條潔淨室的采暖型式，應按下列不同情況確定：
一、100級、1000級、10，000級潔淨室，不應采用散熱器采暖，100，000級潔淨室，不宜采用
散熱器采暖。
二、值班采暖可利用技術夾道的散熱器進行間接采暖。或采用間歇運行淨化空氣調節係統，值
班風機係統進行熱風采暖。
弟5.5.2條散熱器應采用表麵光滑不易積塵、便於清掃的形式。
弟5．5．3條潔淨室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備，應設局部排風裝置、排風罩的操作口麵積應盡量縮小。
弟5．5．4條局部排風係統在下列情況下，應單獨設置：
一、非同一淨化空氣調節係統。
二、排風介質混合後能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。
三、所排出的有害物毒性相差很大。
弟5.5.5條潔淨室的排風係統設計，應采取下列措施：
一、防倒灌措施。
二、含有易燃、易爆物質局部排風係統的防火、防爆措施。
弟5．5．6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應采取通風措施，其室內的靜壓值，應低於潔淨區。
弟5．5．7條潔淨室事故排風係統的換氣次數，應采用每小時15～20次。 事故排風裝置的控製開
關，應分別設在潔淨室和室外便於操作的地點，並應與淨化空氣調節係統聯鎖，其室內宜設報警裝置。
弟六節 風管和附件
弟5．6．1條風管斷麵尺寸的確定，應考慮能對風管內壁進行清潔處理，並在適當位置設置密閉的清掃口。風管壁厚按附錄六選用。
弟5．6．2條淨化空氣調節係統的新風管、回風總管，應設置密閉調節閥。送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設置密閉調節閥。送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設置調節閥。潔淨室內的排風係統，應設置調節閥、止回閥或密閉閥。總風管穿過樓板和風管穿過防火牆處，必須設置防火閥。
弟 5．6．3條淨化空氣調節係統的風管和調節閥以及高效空氣過濾器的保護網、孔板和擴散孔板等附件的製作材料和塗料，應根據輸送空氣的潔淨要求及其所處的空氣環境條件確定。 潔淨室內排風係統的風管、調節閥和止回閥等附件的製作材料和塗料，應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環境條件確定。
弟5．6．4條在中效和高效的空氣過濾器前後，應設置測壓孔。在新風管和送回風總管以及需要調節風量的支管上，應設置風量測定孔。
弟5．6．5條排除腐蝕性氣體的風管，可采用塑料風管，其他風管以及風管的保溫和遊泳場材料及其粘結劑，應采用非燃燒材料或難燃燒材料。
弟六章 給水排水
弟一節 一般規定
弟6．1．1條 潔淨廠房內的給水排水幹管，應敷設在技術夾層、技術豎井、 地溝管槽內或地下埋設。潔淨室內應少敷設管道。引入潔淨室的支管宜明敷，但對空氣潔淨度等級要求高的潔淨室可暗敷。
弟6．1．2條 潔淨廠房內的管道外表麵，如可能結露，應采取防結露措施。
弟6．1．3條 管道穿過潔淨室頂棚、牆壁和樓板處應設套管。管道與套管 之間應采取可靠的密封措施。
弟5．1．4條 管道不宜穿過防火牆。如必須穿過時，穿牆管及其套管應為 非燃燒體管材。
弟二節 給水
弟6．2．1條 潔淨廠房內的給水係統設計，應根據生產、生活和消防等各 項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，分別設置直流、循環或重複利用的給 水係統。高純水係統應設置循環管道。
弟6．2．2條 管材的選擇，應符合下列要求：
一、純水管、高純水管應采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不鏽鋼管；
二、冷卻循環給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管；
三、生產用水設備與管道的連接宜采用上等軟管；
四、管道的配件應采用相應的材料。
弟6．2．3條 潔淨廠房內可設置開水供應設施；盥洗室內的盥洗盆宜供應 熱水；軟化水、純水管適應預留清洗口；純水終端淨化裝置應放在靠近用水點處。
弟6．2．4條 潔淨廠房的周圍，應設置灑水設施。
弟三節 排水
弟6．3．1條 潔淨廠房的排水係統設計，應根據生產排出的廢水性質、濃 度、水量等特點確定排水係統，並應有廢水處理或綜合利用設施。
弟6．3．2條 潔淨室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必 須在其排出口以下部位設水封裝置，並應有防止水封被破壞的設施。
弟6．3．3條 100級、1000級潔淨室內，不宜設置地漏；如必須設置時，應 采用有蓋地漏，並不應設排水溝。10，000、100，000級潔淨室內允許穿過排水 豎管，但在豎管上不得設置檢查口。
弟6．3．4條 潔淨廠房內應采用不易積存汙物、易於清掃的衛生器具、管 材、管架及其附件。
弟四節 消防設施
弟6．4．1條 潔淨廠房應根據生產的火災危險性分類和建築物耐火等級等 因素確定消防設施。
弟6．4．2條 潔淨廠房室內消火栓給水係統的消防用水量不應小於10升／ 秒，每股水量不應少於5升／秒；
弟6．4．3條 潔淨廠房的消火栓設置，應符合下列要求：
一、消火栓的水槍充實水柱，不應小於10米。
二、消火栓的栓口直徑應為65毫米，配備的水帶長度不應超過25米，水槍噴 嘴口徑不應小於
19毫米。
弟6．4．4條 潔淨室及其技術夾道和技術夾層內，均宜同時設置鹵代烷或 二氧化碳等滅火設施和消防給水係統。對設有貴重設備儀器或生產的火災危險性 較大的潔淨室，以及當火災發生時消防人員難以進入撲救的技術夾層和技術夾道 等部位，應同時設置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水係統。
弟七章 工業氣體管道
弟一節 一般規定
弟7．1．1條工業氣體管道的幹管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。 引入潔淨的支管宜明敷。
弟7．1．2條高純氣體管道設計，應符合下列要求：
一、根據計算確定管徑。
二、管道係統應盡量短。
三、不宜設預留口。
四、不應出現"盲管"等不易吹除的部位。
五、幹管不支管上應設置吹除口。
六、在管係統上應設置吹除口。
弟7.1．3條穿過潔淨室牆壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。
弟7．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或濟高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，並應設在防雷保護區內。
弟7．1．5條氣體淨化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一計劃的要求進行選擇。氣體終端淨化裝置應設在靠近用氣點處。
弟7．1．6條氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。
弟二節 管道材料、閥門和附件
弟7．2．1條根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規定選用：
一、氣體純度大小或等於99.999%時，應采用不鏽鋼管。
二、氣體純度大於或等於99.99%時，宜采用不鏽鋼管、銅管、無縫鋼管。
三、氣體純度小於99.99%時，可采用無縫鋼管。
四、管道與設備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙
烯管、不得采用乳膠管。
弟7．2．2條高純氣體管道應采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應。閥門的密合圈應為有色金屬、不鏽鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應采用聚四氟乙烯材料。
弟7．2．3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應采用不鏽鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。
弟三節 管道連接和清洗
弟7．3．1條管道連接應采用焊接。高純氣體管道應采用承插焊。
弟7．3．2條管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。
弟7．3．3條 高純性氣體管道內的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。
弟四節 可靠技術
弟7．4．1條 工業氣體管道設計的可靠技術，應符合下列規定；
一、氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器。
二、氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。
三、各種氣體管道應設明顯標誌。
弟7．4．2條潔淨室內使用氫氣時，宜在室內設置報警裝置。
弟7．4．3條各種氣瓶應集中設置在潔淨廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設置在潔淨室內。
