潔淨室與靜電
(1)潔淨室(深圳市草莓视频18在线科技有限公司 http://www.ksslsw.com) 半導體、平麵液晶顯示器、光電子和生物醫藥都需要潔淨的生產車間,通常潔淨室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控製在規定界限內的房間或限定空間,這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數越小,潔淨度便越高。
(2)潔淨室的靜電 由於潔淨室的潔淨度要求,室內使用 ①大量的高絕緣介質裝飾材料、地麵、牆、門、頂棚、隔斷、工作台、椅子等等,這些材料摩擦容易起電帶電,不易泄漏釋放。 光刻間塑料地麵500V~1000V,擴散間塑料地麵500V~1500V,瓷磚地麵也有500V~1500V,塑料牆紙700V,塑料頂棚OV~1000V,金屬活動皮芏椅麵500V~3000V。 ②人穿潔淨工作服、鞋、步行或工作時,與不同物質設備器材摩擦要產生靜電,人、衣服、鞋都會帶電。 人穿尼龍衣、著塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動,人身上帶7000V~8000V靜電壓。 在乙烯基地板上行走可帶1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH),在地毯上行走可帶35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH),晶片裝配線,人穿的工作服可達10KV。 ③空調氣流經過初效過濾器,中效過濾器,高效過濾器,淨化出口氣流是帶靜電的。 鋁板送風口、回風口500~1000V。 ④大量的絕緣器材、裝備和工具,也是重要的靜電電荷源。晶片裝配生產線:晶片裝料盒35KV,有機玻璃蓋8KV,石英製品1.5KV,晶片托盤6KV,丙烯酸脂蓋20KV,台桌麵10KV,塑料存貯櫃30KV,玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌麵帶10KV。 總之:潔淨室的潔淨度要求越高,靜電帶電便越嚴重。 (深圳市草莓视频18在线科技有限公司 http://www.ksslsw.com)
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